扫描电子显微镜
扫描电子显微镜拍摄这些花粉显示了SEM显微照相的景深特点。 1938年由M. von Ardenne成功开发的第一部扫描电子显微镜（SEM） 播放媒体 扫描电子显微镜的运行原理 剑桥S150型扫描电镜，位于基尔大学地质研究所，1980年拍摄 打开的密封室 模拟式类型的扫描电子显微镜 扫描电子显微镜 （ 英语： Scanning Electron Microscope ，缩写为SEM），简称 扫描电镜 ，是一种电子显微镜，其通过用聚焦电子束扫描样品的表面来产生 样品表面的图像 。 电子与样品中的原子相互作用，产生包含关于样品的表面测绘学形貌和组成的信息的各种信号。电子束通常以 光栅扫描 （ 英语 ： Raster scan ） 图案扫描，并且光束的位置与检测到的信号组合以产生图像。扫描电子显微镜可以实现分辨率优于1纳米。样品可以在高真空，低真空，湿条件（用环境扫描电子显微镜）以及宽范围的低温或高温下观察到。 最常见的扫描电子显微镜模式是检测由电子束激发的原子发射的二次电子（secondary electron）。可以检测的二次电子的数量，取决于样品测绘学形貌，以及取决于其他因素。通过扫描样品并使用特殊检测器收集被发射的二次电子，创建了显示表面的形貌的图像。它还可能产生样品表面的高分辨率图像，且图像呈三维，鉴定样品的表面结构。 目录 1 结构 1.1 真空系统 1.2 电子束系统 1.2.1 电子枪 1.2.2 电磁透镜 1.3 成像系统 2 基本参数 2.1 放大率 2.2 场深 2.3 作用体积 2.4 工作距离 3 用途 3.1 成像 3.2 表面分析 4 SEM成象的图库 5 參見 6 参考资料 7 参考文献 结构 扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统。 真空系统 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM的真空要求
